一、项目名称
高分辨高穿透多模式智能X光视觉技术
二、所属领域
其他
三、技术成熟度（参照GB/T22900-2009和附件）
四、制造成熟度
五、市场成熟度
六、领先水平
七、项目介绍
高分辨高穿透多模式智能X光视觉系统立足于核心部件开发，本系统主要特色技术包括：高亮度X光源、超级针技术、自适应目标识别技术、高精度载物台定位技术，其中，场发射式具有自主知识产权的超级针技术是高分辨高穿透多模式智能X光视觉系统的关键部件之一。系统融合了高分辨、高穿透两种模式的X射线系统，本系统配合不同的检测需求，智能切换高分辨与高穿透两种工作模式。高分辨与高穿透射线源分别匹配相应的探测器，结合灵活的检测及分析软件及控制系统对被检产品进行初判、细节观察以及定位。该项目把握产业升级契机，紧扣国家智能制造主题，立足自主知识产权的超级针式高亮X光源、X光探测标定等核心技术，开展光源可靠性、高灵敏度探测、自适应目标识别和定位、多模态成像、系统可集成性等研究，开发出高分辨高穿透多模态智能X光视觉系统，重点突破极高亮度超级针射线源可靠性、多模态成像合成定位等关键技术，实现该X光视觉系统的国产化。
八、技术指标
1、高分辨视觉系统
l 分辨率：25微米
l 管电压：40-100Kv连续可调
l 管电流：0.5mA-2mA
l 穿透力：100mm铝
l 自动定位精度：1mm
2、高穿透视觉系统
l 分辨率：2mm
l 管电压：40-100Kv连续可调
l 管电流：0.5mA-8mA
l 穿透力：100mm铝
l 自动定位精度：1mm
3、软件和控制系统
l 图像采集：16位图像实时采集，实时显示
l 图像存储：存储/读取gif、jpeg、bmp、tiff等常见图像文件
l 图像处理：增强、平滑、反片、伪彩色、对比度调节
l 智能识别：有
l 可集成接口：有
配置：商用便携式计算机
4、超级针式X光源
l 超级针：发射电流达2mA；脉冲操作
l 靶材：高纯钨靶材
l 焦点：<0.1mm
电源系统纹波0.2%；稳定度0.2%
九、技术特点
十、适用范围
用于高分辨射线源的超级针制备—场离子显微镜一体化设备外观图
X射线源-超级针制备场刻蚀原理图
