类金刚石硬质薄膜

信息来源: 发布时间:2023-09-21 15:48:09

所属行业:先进装备

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成果简介:本成果制备的类金刚石薄膜具有质量稳定,与基体结合强,硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控,耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具有成膜速率高,可实现低温、大面积沉积的特点。所制备的类金刚石薄膜,与金刚石相比具有更高的性价比。

技术优势:目前中国已经成为制造业和加工业大国,类金刚石硬质薄膜在机械制造和加工工具方面具有广阔的市场前景。