所属行业：先进装备
交易方式：
成果简介：随着微电子和微机电（MEMS）等领域的发展，对微齿轮、微弹簧等MEMS器件需求越来越多，因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求。已有的研究表明，利用常规材料来成形微小零件时，材料表现出一系列明显的尺寸效应，从材料性能到制备工艺都限制了MEMS器件与技术的发展与应用。
技术优势：开发满足MEMS器件性能与工艺要求的新型材料具有广泛的应用前景。
