所属行业：前沿制造技术（微纳制造）
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成果简介：XJE2 高温高压系列充油压力芯体采用高精度、高稳定性微压力敏芯片或 SOI 压力力敏 芯片作为弹性敏感单元，通过（高温）充硅油工艺和（高温）精密补偿工艺，可实现（高温 下）0～60MPa…～200MPa 的压力测量。将 XJE 系列充油压力传感器芯体装入具有标准和特定螺纹的压力接口中，可制作出结构型式多样的压力传感器，并与标准信号处理电路配合， 可将压力信号转换成多种工业标准电信号输出，适用于各种不同压力测量产品的组装和生产。
技术优势：优良的线性特性、 长期稳定性好、动态特性好、可长期在高温下工作
