所属行业：前沿制造技术（微纳制造）
交易方式：
成果简介：XJG 2 高温压力传感器采用 MEMS 技术和 SOI 技术，集成平膜压力传感器芯体，并采用 先进的梁膜结构设计，使其具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、动态频率响应高（最高可达 到 1MHz）、超高量程，以及高过载（最大可承受满量程 20 倍）等特点。“耐高温压力传感器”为国家高技术研究发展计划(863 计划)MEMS 领域重点项目成果，并通过部级成果鉴定， 拥有自主知识产权(发明专利：ZL 01 1 28782.9 和 ZL001.13961.4)。
技术优势：可长期在高温下工作、灵敏度高、长期稳定性好、动态频响好、 高量程、高过载
